Wie viel wissen Sie über Siliziumnitrid in Siliziumnitridsubstraten?

Lassen Sie mich heute vorstellenSilicoN NitridAus dem Leistungsaspekt.

Über physikalische Eigenschaften

Erstens die thermischen Eigenschaften von Siliziumnitrid. Es ist ein hochtemperaturfeuerfestes Material ohne Schmelzpunkt. Es zersetzt sich um etwa 1900 ℃ unter normalem Druck. Es hat einen starken Widerstand gegen Hochdruckkriechen. Der Lastweichpunkt des reaktiven Sinter -Siliziumnitrids ohne Bindemittel kann bis zu 1800 ° C betragen. Dann hat es eine gute thermische Leitfähigkeit und einen kleinen Wärmeausdehnungkoeffizienten. Es hat auch eine gute elektrische Isolierung, eine kleine Dielektrizitätskonstante und eine hohe Ausfallspannung.

Über chemische Eigenschaften

Siliziumnitridhat eine gute Oxidationsresistenz und reagiert nicht mit Sauerstoff in einer trockenen Atmosphäre unter 800 ℃. Darüber hinaus ist es gegen geschmolzene Metallkorrosion resistent und feucht nicht die Elementarmetallschmelze (außer Kupfer) und ist nicht korrodiert. Ein weiteres Merkmal ist, dass es in Hydrofluorsäure leicht löslich ist und nicht mit verdünnter Säure funktioniert.

Über mechanische Eigenschaften

Siliziumnitridhat eine gute Hochtemperaturstärke. Die Hochtemperaturstärke bei 1200 ° C dämpft im Vergleich zur Raumtemperaturfestigkeit nicht viel. Darüber hinaus ist seine Hochtemperaturkriechrate sehr niedrig. Diese werden alle durch die Natur starker kovalenter Bindungen bestimmt. Es hat eine hohe Härte, die nur ein paar Superhard-Materialien wie Diamant, Kubikbn, B4C usw. usw. hat. Es hat auch einen niedrigen Reibungskoeffizienten und selbstlubrizierenden Eigenschaften, ähnlich der Oberfläche von geölem Metall.

Das oben oben ist die heutige Einführung inSiliziumnitridAus den drei Aspekten der physikalischen Eigenschaften, der chemischen Eigenschaften und der mechanischen Eigenschaften.