KeramikSubstratwerden derzeit in leistungselektronischen Modulen eingesetzt, Vorteile: hohe mechanische Festigkeit, Zähigkeit und Wärmeleitfähigkeit
Das Siliziumnitrid hat höhere Kosten als das Aluminiumnitrid
Substratund die Wärmeleitfähigkeit liegt über 80 oder mehr. Silizium wird hauptsächlich in leistungselektronischen Modulen wie IGBT-Modulen und Standardblöcken für Autos sowie in Militär- und Luft- und Raumfahrtmodulen eingesetzt.
Der
Keramiksubstratwird hauptsächlich für hohe mechanische Festigkeit und Zähigkeit verwendet. Da dieses Leistungsmodul derzeit zu groß ist, ist die erforderliche Kupferdicke relativ hoch (mindestens 500 µm oder mehr). Ab jetzt haben wir es getan, die Siliziumnitrid-Folgeanwendung erfordert, dass auch die Kupferdicke gering ist (einige IGBT-Module erfordern einen hohen Strom).