Arten von Siliziumnitrid

Arten von Siliziumnitrid
Da die Materialeigenschaften stark von der Herstellungsmethode abhängen, kann Siliziumnitrid nicht als einzelnes Material betrachtet werden. Die drei Haupttypen von Siliziumnitrid sind:

Reaktionsgebundenes Siliziumnitrid (RBSN)
Heißgepresstes Siliziumnitrid (HPSN)
Gesinterte Siliziumnitride (SSN)
Reaktionsgebundenes Siliziumnitrid wird durch direkte Nitrierung eines verdichteten Siliziumpulvers hergestellt. Aufgrund der Schwierigkeit, eine vollständige Reaktion sicherzustellen, ist es schwierig, eine hohe Komponentendichte zu erreichen. Übliche Dichten liegen im Bereich von 2.300 bis 2.700 kg.m-3, verglichen mit 3.200 kg.m-3 für heißgepresstes und gesintertes Siliziumnitrid. Die höhere Dichte verleiht den HPSN- und SSN-Materialien bessere physikalische Eigenschaften und bedeutet, dass sie in anspruchsvolleren Anwendungen eingesetzt werden. Die Nitrierung erzeugt nur eine geringe Volumenänderung, was bedeutet, dass RBSN-Komponenten nach der Herstellung nicht bearbeitet werden müssen und komplexe endkonturnahe Formen in einem einzigen Prozessschritt hergestellt werden können.